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稀土靶材
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贵金属颗粒
金(Au)
银(Ag)
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钌(Ru)
单质颗粒
铝(Al)
铋(Bi)
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铁(Fe)
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铟(In)
镁(Mg)
钼(Mo)
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钛(Ti)
钒(V)
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锌(Zn)
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合金颗粒
金锡(AuSn)
铟锡(InSn)
金锗(AuGe)
氧化物颗粒
氧化铝(Al2O3 )
氧化锌(ZnO)
氧化铟锡(ITO)
氧化铬(Cr2O3)
氧化铪(HfO2)
氧化镁(MgO)
五氧化二铌(Nb2O5)
一氧化硅(SiO)
二氧化硅(SiO2)
五氧化二钽(Ta2O5)
一氧化钛(TiO)
二氧化钛(TiO2)
三氧化二钛(Ti2O3)
五氧化三钛(Ti3O5)
氧化钨(WO3)
氧化锆(ZrO2)
氧化铈(CeO2)
钛酸镧(LaTi2O7)
钛酸钡(BaTiO3)
钛酸锶(SrTiO3)
氧化镝(Dy2O3)
钇铝石榴石(YAG)
钽酸锂(LiTaO3)
化合物颗粒
氮化铝(AlN)
氮化硼(BN)
氮化硅(Si3N4)
氮化铪(HfN)
氮化钽(TaN)
硫化镉(CdS)
硫化铅(PbS)
冰晶石(Na3AlF6)
硫化锌(ZnS)
氟化铝(AlF3)
氟化钡(BaF2)
氟化钙(CaF2)
氟化铈(CeF3)
氟化镧(LaF3)
氟化锂(LiF)
氟化镁(MgF2)
氟化钇(YF3)
碲化镉(CdTe)
碲化铅(PbTe)
硒化镉(CdSe)
硒化锌(ZnSe)
钯(Pd)
镍铬(NiCr)
钆(Gd)
钪(Sc)
钐(Sm)
铒(Er)
铈(Ce)
贵金属粉末
铑(Rh)
铱(Ir)
铼(Re)
单质粉末
铝(Al )
硼(B)
碳(C)
锰(Mn)
硒(Se)
钽(Ta )
稀土粉末
钇(Y)
镧(La)
镨(Pr)
钕(Nd)
镝(Dy)
氧化物粉末
四氧化三铁 (Fe3O4)
氧化钼(MoO3)
二氧化锡(SnO2)
五氧化二钒(V2O5)
二氧化锆(ZrO2)
氧化镍(NiO)
氧化铜(CuO)
三氧化二铁(Fe2O3)
四氧化三钴(Co3O4)
三氧化二锰(Mn2O3)
氧化锌铝(AZO)
氧化钪(Sc2O3)
氧化钇(Y2O3)
二氧化铈(CeO2)
三氧化二镧(La2O3)
氧化镨(Pr6O11)
三氧化二钇(Y2O3)
氧化铒(Er2O3)
氧化钬(Ho2O3)
三氧化二钐(Sm2O3)
氧化钕(Nd2O3)
钛酸锶钡(BaSrTiO3)
锆钛酸铅(PZT)
钡铁氧体(BaFe12O19)
铁酸镍(NiFe2O4)
锶铁氧体(SrFe12O19)
铁酸钴(CoFe2O4)
铁酸锌(ZnFe2O4)
铁酸锰(MnFe2O4)
碳化物粉末
碳化硼(B4C)
碳化铬(Cr3C2)
碳化铪(HfC)
碳化钼(Mo2C)
碳化硅(SiC)
碳化钛(TiC)
碳化钒(VC)
碳化钨(WC)
碳化锆(ZrC2 )
硫化物粉末
二硫化钼(MoS2)
硫化锡(SnS)
二硫化钨(WS2)
氮化物粉末
氮化钛(TiN)
氮化钒(VN)
其他粉末
二硼化钛(TiB2)
硒化铟(In2Se3)
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W
Mo
Ta
C
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Al2O3
蒸发舟
钨丝筐
Ca
Co
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铝(Al)
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钙(Ca)
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重金属
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钼(Mo)
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稀土金属
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铝铜(AlCu)靶
铝铬(AlCr)靶
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铜基合金
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镍基合金
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钛硅(TiSi)靶
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